Картка документа
Шифр З844
Авторський знак З382
Автор / Укладач Захаров Николай Павлович, Багдасарян Альберт Вардкесович
Назва Механические явления в интегральных структурах
Мiсце видання Москва
Рiк видання 1992
Мова Російська
Сторінки / Тома 144 с.
Тип документа Книга
Відомості щодо назви
Ключові слова схема інтегральна, схема интегральная,структура
Анотацiя Рассмотрены вопросы о характере, причинах возникновения полей напряжений и деформаций в интегральных структурах на пластине и в кристалле и влиянии на эти поля различного рода конструктивно-технологических факторов. Проанализирован ряд математических   моделей напряженно-деформированного состояния, приводятся инженерные формулы для расчета или качественного анализа этого состояния. Освещены вопросы влияния напряженно-деформированного состояния на качество интегральных микросхем и технологические п   роцессы. Рассмотрены методы измерения и контроля напряжений и деформаций в конструктивных слоях интегральных структур. Для инженеров, занятых исследованием, конструированием и разработкой интегральных микросхем.  
URL посилання http://www.lib.nau.edu.ua/search/Details.aspx?id=10250


Розміщення Кількість примірників у відділі
Абонемент наукового відділу 2 п.3
Загальна кількість примірників: 3
Є у наявності у фонді бібліотеки: 3
Шановні читачі! Якщо Ви вважаєте, що ця книга предствалена в бібліотеці у неналежній кількості, зверніться будь ласка до Вашого викладача. Всі викладачі НАУ мають змогу замовити необхідну Вам кількість книжок у відділі комплектування НТБ.